ラマン複合システム SEM ラマン

• 形態観察と原子番号：
  SEM（SEIおよびBEI）測定
  
• サンプルの元素組成情報：
  EDS分析
  
• サンプルの化学的組成と同定（識別）：
  ラマン分光測定
  
• 物理的構造
  （結晶形体とメカニカルな情報）：ラマン分光測定
  
• 電子と物理構造：
  CL分光とPL分光測定

アプリケーション

SEM ラマンのアプリケーション例：

• 物性物理
  金属腐食研究、電子材料、ポリマー、複合材料
• 半導体
  微小異物の識別
• 医薬品
  コーティング、フィラー、有効成分薬識別、結晶多形研究
• 鑑識科学
  爆発物、不法薬物、繊維、顔料の識別

長所/特長

• 一つの装置で同一箇所のSEM像観察とラマン分光による分析が可能
  ある特定の位置を、SEMによる形状観察で簡単に特定でき、ラマン分光測定により、非破壊・非接触で、その特定位置を短時間で分子構造分析・同定分析が可能。
• 同一箇所のラマン分光による像観察とEDSによる分析が可能
  ラマン分光のレーザープローブ用カメラにより、SEM像で特定した同一箇所の像観察、レーザースポットの確認、ラマン測定ができるだけでなく、EDS分析およびEDSマップが取得可能。
• カソードルミネッセンス（CL）とフォトルミネッセンス（PL）分光
  ラマン分光の集光光学系は、PLおよびCL分光にも対応可能。前者はラマンのレーザーを励起源とし、後者は SEM の電子ビームを励起源とします。それぞれの測定により、サンプルについての電子的、物理的情報が得られ、またCLは、構造や残留ひずみに対しての極わずかな変化にも優れた情報を提供することが可能。